Şartname | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(Havalı yatak rayı) |
Motor tipi | Üç fazlı demirsiz motor | Ses bobini motoru+ |
Çözünürlük | Varsayılan 100nm dijital miktar | 5nm'ye kadar 1vpp |
motor itme | Sürekli 60N/tepe 210N | Sürekli 60N/tepe 210N |
Minimum adım boyutu[nm] | 200nm | 100nm |
Hareket [mm] | 200×200 | 10 |
Tekrarlanabilirlik [um] | ±0,3 | |
Pozisyon Doğruluğu [um] | ±1 | ±0,5 |
Düzlük [um] | 10um | 5um |
Doğruluk [um] | 1um | 1um |
Maks hız [mm/sn] | 500 mm/sn | 30 mm/sn |
Yük Kapasitesi [kg] | 5kg (pnömatik sabit kuvvet denge ağırlığı ile Z ekseni) |