E-EC-ABL-X serisi lineer motor platformu, geleneksel mekanik kılavuz raylarla karşılaştırılamayan düzlüğe ve düzlüğe sahip olan ve özellikle küçük adım mesafeleri veya ultra- hassas konumlandırma uygulama senaryoları.Hassas optik hata ayıklama, kurulum ve işleme için mükemmel bir uygulama seçeneğidir.
● Hava yataklı lineer kılavuzun çok iyi düzlüğü ve düzgünlüğü vardır
● Demir çekirdekli lineer motor, yeterli sistem sağlamlığı ve dinamik performans sağlar
● Son derece düşük gürültülü sessiz ve kararlı çalışma
● Çok yüksek seviyede hassasiyet performansına sahiptir.
● Tarama uygulamaları veya yüksek hassasiyetli konumlandırma için ideal
● Temiz oda uyumlu
● Hareket platformunun boyutu 210 mm × 100 mm
● Hareket aralıkları 200 mm ila 500 mm
● 100 nm veya 1 nm'ye kadar çözünürlük